一、清華大學(xué)IC裝備超精密機(jī)械及測(cè)控研究室介紹

清華大學(xué)朱煜教授帶領(lǐng)的國(guó)家重點(diǎn)領(lǐng)域“IC裝備精密機(jī)械與測(cè)控”創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)(簡(jiǎn)稱(chēng)IC裝備團(tuán)隊(duì))，核心團(tuán)隊(duì)包括11名教師、20多名在讀博士/碩士研究生、30多名工程師。IC裝備團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人朱煜教授現(xiàn)為機(jī)電所所長(zhǎng)，入選國(guó)家“萬(wàn)人計(jì)劃”首批科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才，是02國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)總體專(zhuān)家組副組長(zhǎng)。IC團(tuán)隊(duì)圍繞IC制造裝備國(guó)家重大戰(zhàn)略需求，針對(duì)光刻機(jī)工件臺(tái)納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度的技術(shù)目標(biāo)，開(kāi)展了超精密機(jī)械、測(cè)量、控制以及系統(tǒng)集成的協(xié)同創(chuàng)新研究，在基礎(chǔ)理論、重大技術(shù)攻關(guān)及研發(fā)方面取得優(yōu)秀成果，對(duì)相關(guān)領(lǐng)域與產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生重要影響。2004年研制成功國(guó)內(nèi)首臺(tái)10nm精度同步掃描氣浮運(yùn)動(dòng)試驗(yàn)系統(tǒng)；2008年研制出實(shí)現(xiàn)±2nm定位精度微動(dòng)臺(tái)；2009年承擔(dān)02國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)雙工件臺(tái)項(xiàng)目；2011年研制成功我國(guó)第一臺(tái)光刻機(jī)雙工件臺(tái)樣機(jī)；2015年承擔(dān)的02專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目完成全部考核指標(biāo)，該項(xiàng)目的完成標(biāo)志著我國(guó)成為世界上少數(shù)可以研制光刻機(jī)雙工件臺(tái)這一超精密機(jī)械與測(cè)控技術(shù)領(lǐng)域最尖端系統(tǒng)的國(guó)家。IC團(tuán)隊(duì)重視基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵技術(shù)研究，著重培養(yǎng)超精密動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)與控制、納米精度工程與測(cè)控技術(shù)、IC制造裝備精密機(jī)電系統(tǒng)方面的領(lǐng)軍人物和高端專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才，提供先進(jìn)的科研平臺(tái)和教學(xué)實(shí)踐基地。

二、研究領(lǐng)域

研究室與北京華卓精科科技股份有限公司聯(lián)合承擔(dān)國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)，研制高端光刻機(jī)雙工件臺(tái)超精密平面光柵位置系統(tǒng)和用于制造大尺寸全息平面光柵的掃描干涉光刻系統(tǒng)。

對(duì)于高端光刻機(jī)雙工件臺(tái)超精密平面光柵位置測(cè)量系統(tǒng)，主要開(kāi)展超精密平面光柵讀數(shù)頭研制、高速高分辨率電子相位卡研制、平面光柵位置測(cè)量系統(tǒng)精度理論研究，突破相應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)，為高端光刻機(jī)雙工件臺(tái)平面光柵位置測(cè)量系統(tǒng)產(chǎn)品設(shè)計(jì)提供支撐。

對(duì)于掃描干涉光刻系統(tǒng)，主要開(kāi)展光學(xué)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)/波前測(cè)量/周期測(cè)量/條紋鎖定等分系統(tǒng)的研制、掃描干涉光刻系統(tǒng)精度理論研究，突破相應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)，為掃描干涉光刻系統(tǒng)產(chǎn)品設(shè)計(jì)提供支撐。

現(xiàn)面向海、內(nèi)外公開(kāi)招聘優(yōu)秀博士后3名。

三、崗位要求

（1）三年內(nèi)獲得或近期即將獲得光學(xué)工程/精密機(jī)械/應(yīng)用物理/自動(dòng)化/電子/控制工程等相關(guān)領(lǐng)域的博士學(xué)位；

（2）具有強(qiáng)烈的科學(xué)研究興趣，良好的專(zhuān)業(yè)素質(zhì)，以及較強(qiáng)的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)和動(dòng)手能力；

（3）具備較強(qiáng)的語(yǔ)言表達(dá)和溝通能力，責(zé)任心強(qiáng)，工作踏實(shí)主動(dòng)，團(tuán)隊(duì)合作精神佳；

（4）具有光機(jī)電一體化多學(xué)科背景者優(yōu)先；

（5）擁有超精密光學(xué)干涉測(cè)量專(zhuān)業(yè)知識(shí)和研發(fā)經(jīng)歷者優(yōu)先。

四、崗位待遇

（1）享受清華大學(xué)博士后待遇（年薪10萬(wàn)-15萬(wàn)）和課題組津貼（每年至少2.4萬(wàn)）；課題組將根據(jù)應(yīng)聘者的能力和業(yè)績(jī)發(fā)放額外獎(jiǎng)金；

（2）享受清華大學(xué)博士后其他福利政策，包括學(xué)校參照校內(nèi)同級(jí)人員的標(biāo)準(zhǔn)為博士后繳納“五險(xiǎn)一金”，享受教學(xué)、科研獎(jiǎng)勵(lì)政策及子女可在附屬學(xué)校、幼兒園入學(xué)、入托等；

（3）博士后進(jìn)站后將獲得與課題相關(guān)的基礎(chǔ)研究訓(xùn)練，協(xié)助PI開(kāi)展課題研究，提供海外學(xué)術(shù)交流機(jī)會(huì)，相對(duì)獨(dú)立地承擔(dān)相關(guān)科研工作，協(xié)助指導(dǎo)研究生，參與申請(qǐng)科研經(jīng)費(fèi)及管理。

五、項(xiàng)目資助

鼓勵(lì)并推薦博士后申報(bào)各類(lèi)博士后資助項(xiàng)目，獲批者同時(shí)享受項(xiàng)目資助經(jīng)費(fèi)，項(xiàng)目資助情況如下：

（1）國(guó)家“博士后創(chuàng)新人才支持計(jì)劃”，國(guó)家給予兩年60萬(wàn)元資助；

（2）清華大學(xué)博士后支持計(jì)劃：

①清華大學(xué)博士后支持計(jì)劃（海外），兩年60萬(wàn)元人民幣/兩年40萬(wàn)元人民幣/兩年20萬(wàn)元人民幣；

②清華大學(xué)博士后支持計(jì)劃（國(guó)內(nèi)）：“博士后創(chuàng)新人才資助計(jì)劃”——兩年50萬(wàn)元，“優(yōu)秀博士畢業(yè)生”——兩年30萬(wàn)元。

（3）中國(guó)博士后科學(xué)基金項(xiàng)目。特別資助：15萬(wàn)元；面上一等資助：8萬(wàn)元；面上二等資助：5萬(wàn)元；

（4）“博士后國(guó)際交流計(jì)劃學(xué)術(shù)交流項(xiàng)目”，給予每人3萬(wàn)元資助。

六、聯(lián)系方式

凡符合招聘崗位要求且有意向者，請(qǐng)通過(guò)電子郵件（主題請(qǐng)注明“博士后申請(qǐng)”）發(fā)送個(gè)人簡(jiǎn)歷和聯(lián)系方式等相關(guān)資料至：zm01@ic.me.tsinghua.edu.cn。如獲面試邀約，請(qǐng)攜帶個(gè)人簡(jiǎn)歷、博士論文等相關(guān)資料。

應(yīng)聘者申請(qǐng)材料我們將嚴(yán)格保密。

為防止簡(jiǎn)歷投遞丟失請(qǐng)抄送一份至：boshijob@126.com（郵件標(biāo)題格式：應(yīng)聘職位名稱(chēng)+姓名+學(xué)歷+專(zhuān)業(yè)+中國(guó)博士人才網(wǎng)）